【光刻机专家】电话会议，解读国产化进展

【光刻机专家】电话会议，解读国产化进展

#海外采购现状

?ASML的1980及以下型号光刻机将仍可供应国内厂商，包括长存等实体清单厂商。

?目前新下单1980交期将长达2-3年，中国厂商产线存量的1980及以下型号将继续给予维保支持。

?1980可支持 3D NAND 2XXL，逻辑28/14nm，DRAM 17/19nm制造。

#国产化进展

?上海微已有浸没式样机。另有龙头设计公司亦在自研浸没式光刻机。

?国产设备后续需要持续迭代优化，ASML的初代浸没式光刻机在台积电从试运行到90%以上良率量产花了3-5年时间。

?国产浸没式的难点在于：双工件台的精度，光栅等光学部件的精度，控制软件和算法等。镜片已经做得比较成熟。

#国产供应链

国内供应链有望助力光刻机国产化落地，建议关注具备国产化稀缺性+低估值标的：

?福晶科技：

主要研发生产光刻机的光源和光学元器件。

预计23/24年实现净利2.7/3.4亿元，当前股价对应PE 33/26。

?腾景科技：

公司多波段合分束器用于光刻机的光学系统，目前已量产入半导体微电子设备厂。

预计23/24年实现净利润1.0/1.4亿元，当前股价对应PE 34/24。

?茂莱光学：

公司DUV光学透镜用于光刻机的光学系统照明、曝光模块，目前已供应上海微等。

预计23/24年实现净利0.80/1.03亿元，当前股价对应PE 153/119。

?炬光科技：

目前给德国A客户供应光刻机的曝光系统的光场匀化器，未来3年有望维持三位数增长。

预计23/24年实现净利润2.1/3.0亿元，当前股价对应PE 53/37。

?苏大维格：

公司研发生产投影式光刻机里光栅部件。

预计23/24年实现净利润1.8/3.5亿元，当前股价对应PE 37/19。

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