【电镀铜（图形化设备）】交流核心要点：

【电镀铜（图形化设备）】交流核心要点：

罗博特科和东威与国电投合作：

1）东威：三代机验证；国电投对挂镀技术工艺和设备比较了解。

2）罗博特科：还是概念；自动化水平上更容易实现，具有上万片的产能可能性，可能性上比东威大。

3）验证周期：6-8个月，预测是2024年一季度会有比较明确的结论。

电镀验证观测指标：

1）产能：最少是在7500片、300MW。

2）良率：98%-98.5%初期是可以接受的

3）均匀性：最终也会影响良率，小于15%。如果同时满足这三个条件，可以进入量产阶段。

图形化环节：

1）直写光刻：更成熟；今年5-6月份中试线上直写光刻的可能性更大，问题在于设备成本能不能降下来。

2）掩膜光刻：现在没有3000-4000片每小时产能的设备；大家觉得产能可能可以做得到，而且设备投资成本低。