罗博特科铜电镀设备性能：

罗博特科铜电镀设备性能： 

（1） 给客户2种选择，单轨（600MW单线）/双轨（1.2GW单线）。

（2） 图层栅线宽度10-20微米可调。栅线厚度15微米。

（3） 节拍按照客户需求来定做，7.2k/8k/1.44w/1.6w片的调节是弹性的，非常小改动就可以满足产能需求。产能要做到多大是看客户的需求来的，要结合上下游其他工艺段的产能。

（4） 单轨600MW占比300平方。摆放总体是直线型。

时间线：

1）现在预计23年3月底前，数据收集到位，整线跑通优化等。

2）第一阶段验证在年前完成了，验证方案可行性。半自动产线，镀完之后线的宽度、铜的厚度、均匀性。

3）第二阶段验证在2月底完成，全自动产线小批量验证，然后做小的中试线进行量产。后面优化调整，然后进入中试线。

4）23年2Q末-3Q进入中试线量产计划。如果中试顺利，可以建量产线。